河北普莱斯曼金刚石科技有限公司
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一、915MHz高功率MPCVD装置介绍



国内首台915MHz75kW高功率微波等离子体(MPCVD

金刚石膜沉积装置

直径3-5英寸(φ76-127mm)大面积高质量金刚石膜


河北普莱斯曼金刚石科技有限公司与北京科技大学于2014年联合研制了国内首台75kW, 915MHz高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置。经过两年多的设备改进与工艺探索,目前我单位采用该设备可成功制备直径达5英寸(φ127mm),厚度0.1-2mm的大面积高质量金刚石膜。通过控制生长条件,可为客户提供不同规格和特性的优质金刚石膜产品。




二、单晶简介






本公司采用化学气相沉积方法外延生长,获得了厚度2mm以上的高纯度金刚石单晶。经检验,样品颜色和净度均可达到宝石级水平,通过工艺参数的优化,单晶生长速率可达30um/h,抛光后样品厚度公差可达±0.05mm,晶向偏差±2°,表面粗糙度Ra<30nm

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