尺寸及性能参数

●直径2-6英寸(φ50.8-152.4mm);
●直径公差≤±0.15mm;
●厚度0.3-3mm;
●厚度公差≤±5μm;
●平面度≤5μm;
●表面粗糙度≤10nm;
●热导率 2000 W·m^-1 ·K^-1;
●真空插率 ≤1x10^-11 Pa·m³/s;
●介电损耗角正切 tanδ≤5x10^-5;
●红外透过@10.6um≥70%;
●紫外透过@1.06um≥70%。