河北普莱斯曼金刚石科技有限公司
915MHz高功率MPCVD装置介绍
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915MHz高功率MPCVD装置介绍


国内首台915MHz75kW高功率微波等离子体(MPCVD

金刚石膜沉积装置

直径3-5英寸(φ76-127mm)大面积高质量金刚石膜


河北普莱斯曼金刚石科技有限公司与北京科技大学于2014年联合研制了国内首台75kW, 915MHz高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置。经过两年多的设备改进与工艺探索,目前我单位采用该设备可成功制备直径达5英寸(φ127mm),厚度0.1-2mm的大面积高质量金刚石膜。通过控制生长条件,可为客户提供不同规格和特性的优质金刚石膜产品。

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